[实用新型]一种薄膜晶体管及阵列基板有效
| 申请号： | 202220606023.7 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN217062109U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王佳琳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种薄膜晶体管及阵列基板，其包括：基板；栅电极，形成于所述基板上；栅极绝缘层，覆设于所述栅电极上；有源层，形成于所述栅极绝缘层上；源漏金属层，形成于所述有源层上，所述源漏金属层包括源电极和漏电极；所述源电极和漏电极之间相互间隔并且分别具有部分搭接在所述有源层上，所述有源层对应于所述源电极和漏电极相互间隔的区域形成沟道区；防护层，形成于所述沟道区的表面；以及钝化层，覆设于所述源漏金属层及所述防护层的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 阵列 | ||
【主权项】：
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