[实用新型]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置有效
| 申请号： | 202220690975.1 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN217222224U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，本实用新型有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 low 设备 旋转 涂胶 真空 转接 装置 | ||
【主权项】：
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