[实用新型]多级互联MO源供应装置有效
申请号: | 202220772346.3 | 申请日: | 2022-04-02 |
公开(公告)号: | CN217026069U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 闫其昂;王国斌;周溯沅 | 申请(专利权)人: | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C30B25/14 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 赵世发 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多级互联MO源供应装置。所述多级互联MO源供应装置包括:MO源容器,所述MO源容器内部具有一收容空间,所述收容空间内设置有多个第一隔板,多个所述第一隔板将所述收容空间分隔为多个收容腔室,所述第一隔板上还设置有可供载气通过的第一透气结构,相邻两个所述收容腔室能够经所述第一透气结构相互连通,所述MO源容器上还设置有多个加料口;第一导气组件和第二导气组件,所述第一导气组件、第二导气组件分别与选定的两个收容腔室相连通。本实用新型实施例提供了一种多级互联MO源供应装置,延长了载气和固态MO源的接触时间,增大了载气与固态MO源的接触面积,提高了固态MO源的蒸气压稳定性。 | ||
搜索关键词: | 多级 mo 供应 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的