[实用新型]多级互联MO源供应装置有效

专利信息
申请号: 202220772346.3 申请日: 2022-04-02
公开(公告)号: CN217026069U 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 闫其昂;王国斌;周溯沅 申请(专利权)人: 江苏第三代半导体研究院有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C30B25/14
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 赵世发
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种多级互联MO源供应装置。所述多级互联MO源供应装置包括:MO源容器,所述MO源容器内部具有一收容空间,所述收容空间内设置有多个第一隔板,多个所述第一隔板将所述收容空间分隔为多个收容腔室,所述第一隔板上还设置有可供载气通过的第一透气结构,相邻两个所述收容腔室能够经所述第一透气结构相互连通,所述MO源容器上还设置有多个加料口;第一导气组件和第二导气组件,所述第一导气组件、第二导气组件分别与选定的两个收容腔室相连通。本实用新型实施例提供了一种多级互联MO源供应装置,延长了载气和固态MO源的接触时间,增大了载气与固态MO源的接触面积,提高了固态MO源的蒸气压稳定性。
搜索关键词: 多级 mo 供应 装置
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