[实用新型]一种声电转换结构、麦克风结构及电子设备有效
申请号: | 202220794706.X | 申请日: | 2022-04-07 |
公开(公告)号: | CN217283378U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 刘青;孟燕子;荣根兰 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R19/00;H04R1/32;B81B7/02 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 方世栋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种声电转换结构、麦克风结构及电子设备,其中,所述声电转换结构包括衬底以及设置在所述衬底上的振膜,所述衬底上设有在厚度方向上贯通所述衬底的背腔;其中,所述声电转换结构还包括用于改变从所述背腔传入的声波的传导方向的声波止挡结构,所述声波止挡结构包括主体部和支撑部,所述主体部位于所述背腔中,并通过所述支撑部与所述背腔的侧壁固定连接。本实用新型所提供的声电转换结构、麦克风结构及电子设备能够改变从背腔传入的声波的传导方向,有效地提升了MEMS麦克风的机械可靠性,还能够降低因吹气、粉尘等导致的膜破失效概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 转换 结构 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】:
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