[实用新型]一种晶体切割断线续切装置有效
申请号: | 202220848450.6 | 申请日: | 2022-04-13 |
公开(公告)号: | CN217514280U | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 彭杰 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D5/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 黄宗波 |
地址: | 404000 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体制造技术领域领域,公开了一种晶体切割断线续切装置,包括机架,机架上依次转动设有放线轮、第一槽轮、第二槽轮和第一收线轮,放线轮、第一槽轮、第二槽轮和第一收线轮上缠绕有切割钢线,切割钢线上方设置有伸缩机构,伸缩机构上固定有晶体夹具,第一收线轮上固定安装有电机,放线轮与第一槽轮之间上的机架上转动的设置有第二收线轮,第二收线轮上固定安装有断线器,断线器包括断线弹板、控电器和电磁铁,电磁铁与控电器电连接,切割钢线从断线弹板与电磁铁之间的间隙穿过。本实用新型旨在解决在晶体多线切割时断线,尤其是放线端或槽轮间断线时,因长时间停机或重新布线后再次切割所导致的晶片受损率过高甚至报废的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 切割 断线 装置 | ||
【主权项】:
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