[实用新型]一种SF6微水密度传感器批量校准装置有效
申请号: | 202220850217.1 | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN217404055U | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 张志成;郭磊;王全金;方翔 | 申请(专利权)人: | 齐丰科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N9/00 | 分类号: | G01N9/00;G01N25/66;G01N33/00 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 吕书桁 |
地址: | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种SF6微水密度传感器批量校准装置,包括高纯氮气罐、高精度压力表、高精度流量控制器、手动阀、电动阀、鼓泡器、湿度表、单向逆止阀、气路管道、混气罐、前置高精度露点仪、转子流量计、SF6微水密度传感器安装底座、后置高精度露点仪、气体延长管以及计算机,高纯氮气罐包括第一高纯氮气罐和第二高纯氮气罐,高精度压力表包括第一高精度压力表和第二高精度压力表,高精度流量控制器包括第一高精度流量控制器和第二高精度流量控制器,手动阀包括第一手动阀和第二手动阀,电动阀包括有第一电动阀和第二电动阀,实现了SF6微水密度传感器的批量校准,提高了微水传感器的校验和标定效率,缩小了不同传感器之间采集数据的相对差异。 | ||
搜索关键词: | 一种 sf6 水密 传感器 批量 校准 装置 | ||
【主权项】:
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