[实用新型]防漏液机台盖板有效
| 申请号： | 202220857240.3 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217083330U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王凯;刘猛 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00;F27D21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张亚静 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防漏液机台盖板，设置在一机台上且位于一冷却水管的下方，包括盖板主体及漏液检测单元，盖板主体的中心具有一通孔，通孔的外边缘及盖板主体的外边缘处分别设置有第一防漏水凸起及第二防漏水凸起，第一防漏水凸起及第二防漏水凸起均由盖板主体的上表面向上延伸至预设高度，漏液检测单元安装在盖板主体的上表面且位于第一防漏水凸起与第二防漏水凸起之间，以用于检测冷却水管泄露的冷却水。通过在盖板主体中心的通孔及外边缘处设置防漏水凸起，能够有效防止从冷却水管泄露的冷却水从盖板主体向下滴落，并且，通过漏液检测单元还能够检测到盖板主体上是否存着冷却水，达到实时监控的目的，以便及时处理。 | ||
| 搜索关键词： | 防漏 机台 盖板 | ||
【主权项】：
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