[实用新型]一种简易型铜液防溅盘有效
| 申请号： | 202220947591.3 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN217103083U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 蔡金明;王杰 | 申请（专利权）人： | 广东墨睿科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京谱帆知识产权代理有限公司 11944 | 代理人： | 王芊雨 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种简易型铜液防溅盘，包括内部设有缕空结构的盘体，所述盘体上下两个表面上开设有数个孔洞，位于盘体表面上的所述孔洞与所述缕空结构搭配形成两侧通透的网格结构，用于供粉尘飘散通过，本实用新型能有效的阻止铜液的飞溅，减少后期的清理维护，避免了由溅射问题带来的设备绝缘安全性、铜液易损耗问题的发生，同时提高改善粉体的均一性和质量并不影响粉体的飘散，有助于气泡CVD设备实现长时间连续生产的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 型铜液防溅盘 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东墨睿科技有限公司，未经广东墨睿科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220947591.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：折叠式进线箱
- 下一篇：一种防水材料铺设用快速定位设备
