[实用新型]一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置有效

专利信息
申请号: 202220949578.1 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN217378104U 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 李响;秦静超;胡燕京;葛照峰 申请(专利权)人: 江苏龙恒新能源有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;B01D29/01
代理公司: 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 代理人: 陈勤
地址: 223802 江苏省宿迁*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置,包括制绒槽,制绒槽内部设有用于将制绒药液进行导流的导流部件,导流部件包括导流管,导流管卡设在制绒槽上,制绒槽底部设有用于对制绒液进行补液和温控的调节部件,调节部件包括调节管,制绒槽底部设有对硅片制绒产生的杂质进行过滤的过滤部件,过滤部件包括用于对过滤部件进行冲洗的溢流管,溢流管嵌设在制绒槽内部,导流部件能够对制绒液导入到制绒槽内部,调节部件能够对制绒液进行温度进行调控,对制绒液实时进行补液,过滤部件能够对制绒槽内部的杂质进行过筛,对制绒槽内部液位和温度进行智能化调控,对制绒槽内部杂质进行过滤,方便制绒液杂质的清洗,提高硅片的制绒效率。
搜索关键词: 一种 硅片 清洗 药液 智能 调节 装置
【主权项】:
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