[实用新型]一种晶棒自动检测流水线有效
申请号: | 202220962782.7 | 申请日: | 2022-04-22 |
公开(公告)号: | CN217384327U | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 杨超;武绚丽;宋克冉 | 申请(专利权)人: | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;B24B5/50;B24B5/35 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 刘煜 |
地址: | 655000 云南省曲靖市曲靖*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于晶棒流水检测作业的晶棒自动检测流水线,流水线主体上设有用于运输晶棒的传送带;流水线主体上设有电阻率测量仪、截断机、寿命检测仪、晶向检测仪、开方机和磨倒机,电阻率测量仪设置在截断机前方的传送带的一侧,寿命检测仪和晶向检测仪依次设置在开方机对应的传送带的一侧;碳氧测量系统,碳氧测量系统包括机械臂和设置在机械臂上的碳氧测量仪,机械臂用于夹取和运输晶棒,碳氧测量仪用于向晶棒射出红外线以进行检测。本实用新型的晶棒自动检测流水线通过将检测仪器设置在流水线上,实现了晶棒的全自动检测,有效的降低了人工成本,减少了人为误差和检测时间,提升了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动检测 流水线 | ||
【主权项】:
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