[实用新型]一种自动化定制镀膜拍舟器有效
申请号: | 202220985336.8 | 申请日: | 2022-04-27 |
公开(公告)号: | CN217266003U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 刘海林;张进;王博平 | 申请(专利权)人: | 江苏龙恒新能源有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/52;C23C16/50;H01L21/677 |
代理公司: | 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 | 代理人: | 陈勤 |
地址: | 223802 江苏省宿迁*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动化定制镀膜拍舟器,包括托舟运输台,托舟运输台上设有用于使石墨舟移动运输的托舟轨道,托舟运输台靠近托舟轨道的位置设有用于对石墨舟进行拍舟的拍舟板,托舟运输台上设有用于支撑托舟版的支撑顶板,拍舟板上设有用于对拍舟板进行驱动的驱动单元、用于保护石墨舟晃动的托护单元和用于对拍舟器晃动产生碎屑进行掉片检测的拦挡单元,旨在取消人工拍舟的作业方式,安装定制拍舟器,增加掉片检测和收集,自动化主机台与自动拍舟机构联动,实现自动拍舟、系统的全自动化循环功能,有效减少漏拍、拍舟不及时等造成的产能、良率的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动化 定制 镀膜 拍舟器 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的