[实用新型]一种膜系结构有效
| 申请号： | 202220987089.5 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217238429U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 李卫涛 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/115;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 康欢欢 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜系结构。该膜系结构为：Sub|((HL)^a(2H)^b(LH)^c(2L)^d)^e(HL)^a(2H)^b(LH)^c fL|Air；其中，Sub为基板，Air为出射介质空气，H为1/4中心波长光学厚度的高折射率材料，L为1/4中心波长光学厚度的低折射率材料，a、b、c、d、e、f均为正整数；其中，(HL)^a表示依次沉积H膜层和L膜层并重复a次；(2H)^b表示依次沉积H膜层和H膜层并重复b次；(LH)^c表示依次沉积L膜层和H膜层并重复c次；(2L)^d表示依次沉积L膜层和L膜层并重复d次；((HL)^a(2H)^b(LH)^c(2L)^d)^e表示膜堆(HL)^a(2H)^b(LH)^c(2L)^d重复e次；fL表示L膜层重复f次。能够在修正膜厚均匀性的同时，还可以用来修正高低折射率材料的光学厚度相对比例，具有准确和高效的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 | ||
【主权项】：
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