[实用新型]一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构有效
| 申请号： | 202220994049.3 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN217132441U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 崔雪岩;孙启萌;刘丽娜 | 申请（专利权）人： | 山东伟航敏芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 淄博圣创知识产权代理事务所(普通合伙) 37377 | 代理人： | 程丽娜 |
| 地址： | 255086 山东省淄博市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，涉及传感器领域，包括基座六方、基座螺纹柱和传感器敏感元件，所述传感器敏感元件固定安装于基座螺纹柱顶部，所述基座螺纹柱顶部设置有与传感器敏感元件配合的限位柱；所述基座螺纹柱包括螺纹安装段，螺纹安装段底部开设有O型圈槽；所述基座六方固定安装于基座螺纹柱顶部。本实用新型通过改变一体基座为分体式基座，将基座螺纹柱与基座六方分成两个元器件，安装更方便；传感器敏感元件藏于基座六方内，可以节省空间，缩小传感器体积，适应更多的工作环境；且可以更大限度的对传感器敏感元件进行保护，避免后续工序中对传感器敏感元造成不必要的磕碰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 薄膜 压力传感器 敏感 元件 安装 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东伟航敏芯电子科技有限公司，未经山东伟航敏芯电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220994049.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
