[实用新型]一种固体类反应源输送装置

摘要

本实用新型属于化学气相镀膜技术领域，具体涉及一种固体类反应源输送装置，包括第一进气管道、反应源瓶以及加热器，所述第一进气管道与所述反应源瓶的顶部连接，所述加热器设置于所述反应源瓶的外周，所述第一进气管道的尾部设置有第二进气管道，所述第二进气管道伸入所述反应源瓶内，所述反应源瓶的顶部设置有出气管道。本实用新型设计巧妙，使用时将固体类反应源放入反应源瓶当中，加热器加热反应源瓶，进而加热固定类反应源使其升华，惰性载气从第一进气管道通入，第二进气管道伸入反应源瓶内，惰性载气通入反应源瓶当中，将升华的前驱体分子传送至反应源瓶的顶部，并通过出气管道输出，最终输入至反应腔室当中。