[实用新型]一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构有效
| 申请号： | 202221030227.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217360192U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 杨婷;王君从;程铁剑;田爱国 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/12;G01R1/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 金福坤 |
| 地址： | 050081 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路技术领域，具体为一种集成电路静电击穿可靠性分析测试结构，包括底板，所述底板上方四周安装有支撑柱，所述支撑柱上方安装有检测座，所述检测座内部左侧安装有固定机构，所述固定机构上方两侧安装有液压杆，所述液压杆上方安装有延伸板，所述检测座左侧开设有多个检测口。本实用新型通过底板配合检测座使用，可在检测座内部对集成电路进行存放和测试，同时通过固定机构实现自动对集成电路的横向进行固定，同时通过液压杆带动延伸板和顶部固定板下压，实现对集成电路的高度进行固定限位，防止出现松动，提高了测试的效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 静电 击穿 可靠性分析 测试 结构 | ||
【主权项】：
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