[实用新型]一种掩模版mura标定装置有效
| 申请号： | 202221105024.X | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN217820064U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 莫卫东 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模版mura标定装置，包括基座、掩膜版支架、观测镜组件、光源组件、第一定位光栅、第二定位光栅、第三定位光栅、第四定位光栅，观测镜组件包括观测镜、观测镜支架、第一双轴倾角传感器、第一万向铰链，光源组件包括照明光源、光源支架、第二双轴倾角传感器、第二万向铰链，第二双轴倾角传感器固定设置在照明光源上，照明光源通过第二万向铰链与光源支架相连接，光源支架的两端分别与基座、掩膜版支架固定连接。本实用新型所提出的一种掩模版mura标定装置，结构简单，实现了对于mura现象的位置准确标定和准确重现功能，便于与设计图形作对比，以及作进一步分析，提高掩模版生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模版 mura 标定 装置 | ||
【主权项】：
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