[实用新型]包覆式加热器及单晶炉有效
| 申请号： | 202221115761.8 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN217556347U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 夏新中;潘明翠;孟庆超;张莉沫;张任远 | 申请（专利权）人： | 英利能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 王诗琪 |
| 地址： | 071051 河北省保定*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种包覆式加热器及单晶炉，属于单晶生长技术领域，包括加热器本体，加热器本体具有围设于坩埚外侧的加热直筒及包覆坩埚弧形底部的弧形加热底，加热直筒的下边沿与弧形加热底的上边沿无缝衔接。本实施例提供的包覆式加热器，侧部和底部加热器采用一体化设计，形成弧面全包覆结构，与坩埚外形相贴合，消除了加热空白区域，使得硅料熔化速率更快；同时显著降低了熔液内部的非纵向温差，消除了紊乱湍流，形成稳态对流效应，杂质偏析分凝降低，沉降速率增大，显著提升了单晶硅棒的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 包覆式 加热器 单晶炉 | ||
【主权项】：
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