[实用新型]微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片有效
申请号: | 202221132748.3 | 申请日: | 2022-05-11 |
公开(公告)号: | CN217542863U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 赵旭阳;吴翔;李宇翔;郭志和;孙允陆 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01N21/39 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;陆尤 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型属于光学传感检测技术领域,具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片。本实用新型光学传感芯片包括:两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管;两块平面反射镜上、下平行放置,两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边,保证两块反射镜保持高度平行;中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间,两端与平面反射镜之间粘合固定,形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片;平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本实用新型基于微泡的透镜效应,使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性,同时集成天然的微流通道,实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。 | ||
搜索关键词: | 集成 型法布里帕罗 结构 谐振腔 传感 芯片 | ||
【主权项】:
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