[实用新型]一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置有效
| 申请号： | 202221196335.1 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN217155599U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李煥珪 | 申请（专利权）人： | 成都高真科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G06F16/25 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端，端点检测组件设置在加工室顶部中央，且与加工室内部连通，红外线温度监测装置安装在端点检测组件上，监测下方位于多区域静电卡盘上的晶圆。本实用新型结构简单精巧，通过设置红外线温度监测装置获取晶圆表面温度变化数据，并传输至PC端进行温度矫正，提高了矫正效率，避免了数据录入失误。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外线 监测 区域 静电 卡盘 温度 矫正 装置 | ||
【主权项】：
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