[实用新型]一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置有效
| 申请号： | 202221247274.7 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN217511452U | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;冯晋荃;江虹;刘建哲;祝小林;徐良 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/00 | 分类号： | B01D47/00;B01D53/18;B08B9/032;F26B21/00 |
| 代理公司： | 杭州凌通知识产权代理有限公司 33316 | 代理人： | 叶绿林 |
| 地址： | 245000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括与刻蚀机连接的干泵，洗涤塔，连接干泵和洗涤塔的抽气尾管；所述抽气尾管的一端连接设置有清洗进水管，另一端连接设置有清洗出水管；还设置有清洗水槽，所述清洗进水管和清洗出水管的另一端连接至清洗水槽，所述清洗进水管上设置有循环水泵，清洗进水管上设置有进水控制阀，清洗出水管上设置有出水控制阀。本实用新型能够在不拆卸的情况下快速对抽气尾管进行清洗，节省人工成本，降低清洗的费用，可广泛应用于刻蚀机抽气尾管清洗领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 机抽气尾管免 拆洗 装置 | ||
【主权项】：
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