[实用新型]干燥装置有效
| 申请号： | 202221274564.0 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN217504292U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00;F26B21/00;H01L51/56;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种干燥装置。干燥装置包括承载组件以及冷却组件；承载组件包括面板放置区，承载组件还包括承载台以及设置于承载台上并位于面板放置区内的支撑件；冷却组件包括设置于支撑件一侧的冷却件，冷却件包括与面板放置区对应设置的控温区，控温区包括第一控温区以及设置于第一控温区周侧的第二控温区；其中，当干燥装置处于工作状态时，冷却件在第一控温区内的温度大于冷却件在第二控温区内的温度。本实用新型可以提高面板的成膜均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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