[实用新型]一种门钮、内导体组件、微波模式转换器及MPCVD设备有效
| 申请号： | 202221280718.7 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN217641723U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 吴丹;黄春林;刘文科;李俊宏;季宇 | 申请（专利权）人： | 成都纽曼和瑞微波技术有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/16 | 分类号： | H01P1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610052 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的门钮及采用该门钮的内导体组件，所述门钮设置有安装孔1，所述安装孔1的圆周上设置有可弹性开合的条形开口2，所述条形开口2沿安装孔1的轴向延伸，提供了一种结构简单、便于加工制作、可有效防止打火现象发生、延长设备使用寿命的门钮。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导体 组件 微波 模式 转换器 mpcvd 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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