[实用新型]存储电容器有效
| 申请号： | 202221295983.2 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN217361632U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 黄子伦 | 申请（专利权）人： | 苏州聚谦半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区星*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种存储电容器，包括：在剖面结构上，包括半导体衬底、位于半导体衬底上的绝缘层、绝缘层上的第一介质层、第一介质层上的第一导电层、第一导电层上的第二介质层和第二介质层上的第二导电层，其中，位于底部和侧壁处的第一导电层和第二导电层形成U型折叠区；位于第二导电层上的第三介质层和第三介质层上的第三导电层，第三导电层通过第一板接触通孔与第一导电层电连接，第三导电层通过第二板接触通孔与第二导电层电连接；在平面结构上，第一板接触通孔所接触的第一导电层周围未设置其它导电层，以及所述第二板接触通孔所接触的第二导电层周围未设置其它导电层。该存储电容器能够提供自对准板接触通孔结构，提升存储电容器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 电容器 | ||
【主权项】：
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