[实用新型]图像传感器

摘要

本实用新型提供一种图像传感器，包括：衬底和金属栅格；所述金属栅格位于所述衬底上，且具有依次层叠的第一氮化钛层、金属层和第二氮化钛层；其中，第一氮化钛层的厚度小于第二氮化钛层的厚度。可见，本实用新型去除了金属栅格底部的金属钛层，仅保留了较薄的一层氮化钛层，且保留下的第一氮化钛层的厚度小于第二氮化钛层的厚度，从而在刻蚀所述开口时，不仅减少了对开口底部的轰击，降低了器件膜层的等离子损伤，还易于控制金属栅格的关键尺寸，同时还能够降低图像传感器的白噪声。进一步的，与金属栅格相接的衬底的表面呈平坦状，则在平坦表面设置金属栅格无需过强的粘附性。因此，较薄的第一氮化钛层足以保证金属栅格的连接稳定性。