[实用新型]一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置有效
申请号: | 202221319207.1 | 申请日: | 2022-05-30 |
公开(公告)号: | CN218123429U | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 张清清;高晗;刘小明;龚汉亮;吴明贵 | 申请(专利权)人: | 南通玖方新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 | 代理人: | 冼柏恩 |
地址: | 226300 江苏省南通市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏发电领域,具体公开了一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置,所述遮挡装置包括设置在托盘上的挡板以及用于将挡板安装在托盘上的安装机构,其中,所述托盘在每个硅片放置位置处均设置有安装槽;所述安装机构将所述挡板安装在所述安装槽内。通过上述设置,使得本实用新型的遮挡装置可以在托盘进行表面处理时将托盘中的硅片放置位置遮挡起来,以便使得硅片在后续的镀膜过程中获得更好的镀膜效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 托盘 表面 处理 遮挡 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的