[实用新型]一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置有效

专利信息
申请号: 202221319207.1 申请日: 2022-05-30
公开(公告)号: CN218123429U 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 张清清;高晗;刘小明;龚汉亮;吴明贵 申请(专利权)人: 南通玖方新材料科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C23C14/04;C23C16/04
代理公司: 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 代理人: 冼柏恩
地址: 226300 江苏省南通市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及光伏发电领域,具体公开了一种用于硅片托盘表面处理的遮挡装置,所述遮挡装置包括设置在托盘上的挡板以及用于将挡板安装在托盘上的安装机构,其中,所述托盘在每个硅片放置位置处均设置有安装槽;所述安装机构将所述挡板安装在所述安装槽内。通过上述设置,使得本实用新型的遮挡装置可以在托盘进行表面处理时将托盘中的硅片放置位置遮挡起来,以便使得硅片在后续的镀膜过程中获得更好的镀膜效果。
搜索关键词: 一种 用于 硅片 托盘 表面 处理 遮挡 装置
【主权项】:
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