[实用新型]一种用于清洁抛光盘的装置有效
| 申请号： | 202221334139.6 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN217317569U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 贺云鹏;王贺 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/007 | 分类号： | B24B53/007 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 侯丽丽;归莹 |
| 地址： | 710100 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于清洁抛光盘的装置，其特征在于，所述装置包括：清洁单元，所述清洁单元包括形成有刷毛的清洁头以及喷头，其中，当所述装置工作时，所述刷毛能够与抛光盘贴合并且所述喷头能够对所述抛光盘喷射清洁液，以对所述抛光盘进行清洁。通过带有刷毛的清洁头以及能够喷射清洁液的喷头对抛光盘进行刷洗，可以清除沉积在抛光盘上的抛光液以及抛光碎屑，由此改善抛光盘的清洁度，从而解决因抛光盘洁净程度较差导致污染硅片使硅片品质下降的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洁 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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