[实用新型]一种大尺寸单晶的退火设备有效
| 申请号： | 202221364070.1 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN218059300U | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 刘景峰 | 申请（专利权）人： | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 张永革 |
| 地址： | 101399 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸单晶的退火设备，包括炉体、保温层、分体坩埚、加热器组件、坩埚移动架和移动架升降机构；所述分体坩埚由上下两部分嵌合而成，分别设置在保温层侧壁中部及底部坩埚移动架上。所述加热器组件由上部加热器、中部加热器和底部加热器组成。本实用新型大尺寸单晶的退火设备增设底部加热器，使用大容积分体坩埚，设置碎晶料排放和收容结构；使得退火时，晶体的环境温梯分布更细密；有效改善大尺寸单晶退火完成后的应力分布，减少晶体缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 退火 设备 | ||
【主权项】：
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