[实用新型]一种用于有害气体的处理器有效
| 申请号： | 202221403763.7 | 申请日： | 2022-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN217635672U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王福清 | 申请（专利权）人： | 上海协微环境科技有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23G5/027;F23G5/44 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386 | 代理人： | 程虹 |
| 地址： | 201801 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于有害气体的处理器，属于半导体有害气体处理技术领域，解决了现有技术中有害气体会在热分解腔中反应生成有毒的副产物、热分解腔温度较低导致分解效率较低的问题。该处理器包括热分解腔和反应腔；热分解腔和反应腔之间设有连接法兰，热分解腔和反应腔通过连接法兰连通且不具有重叠区域。该用于有害气体的处理器可用于泛半导体加工工艺产生的尾气处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 有害 气体 处理器 | ||
【主权项】：
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