[实用新型]一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构有效
申请号: | 202221416781.9 | 申请日: | 2022-06-08 |
公开(公告)号: | CN218299813U | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
发明(设计)人: | 潘超;黄辉巍;陈正飞;陆宁;王军昭 | 申请(专利权)人: | 江苏顺风新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 朱晓凯 |
地址: | 213123 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种增加石墨舟陶瓷杆支撑架使用寿命改造结构,其技术方案要点是:包括石英炉管,所述石英炉管的内部设置有两个陶瓷杆支撑架,两个所述陶瓷杆支撑架位于同一水平面上;加固组件,所述加固组件设置在所述陶瓷杆支撑架的外圆壁面上,用于增加所述陶瓷杆支撑架的使用寿命,通过设置陶瓷杆支撑架制成为石墨舟使用,通过石英炉管为镀膜提供低压稳定的空间,通过不锈钢套环固定在石墨舟舟脚和陶瓷杆支撑架的连接部位,对陶瓷杆支撑架进行加固,石墨舟落舟将落在不锈钢套环上面,不锈钢套环和陶瓷杆支撑架上的接触面积相比石墨舟舟脚和陶瓷杆支撑架的接触面积大大增加,从而极大增加陶瓷杆支撑架的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 增加 石墨 陶瓷 支撑架 使用寿命 改造 结构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的