[实用新型]硅片扩散系统有效
| 申请号： | 202221435967.9 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN217628734U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 何建峰 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 别亮亮 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片扩散系统，将第二安装部与第一安装部进行连接时，使得导热部能够与扩散装置热传递配合，再将清洗后的扩散滤芯放置在放置口处进行存放，进而使得扩散装置的余热能够通过承托件传递至扩散滤芯而对扩散滤芯进行干燥。并且，扩散装置的余热能够持续的传递至扩散滤芯，从而能够避免扩散滤芯在存放过程中受潮，保证在后续使用过程中化学隔膜泵的压力不会超出额定压力，保证工序的正常进行。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 扩散 系统 | ||
【主权项】：
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