[实用新型]一种双光路合流芯片检测装置有效
申请号: | 202221448976.1 | 申请日: | 2022-06-10 |
公开(公告)号: | CN217586978U | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 赵明明;孙会民 | 申请(专利权)人: | 厦门柯尔自动化设备有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/94;G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人: | 陈远洋 |
地址: | 361103 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 公开了一种双光路合流芯片检测装置,包括底座、双光路合流模块和检测镜组模块,双光路合流模块和检测镜组模块固定在底座上,待检测芯片在外部芯片拾取结构的作用下被压入双光路合流模块,双光路合流模块外侧固定的光源打亮芯片两个表面形成的光路经过双光路合流模块中的分光镜、等腰直角棱镜、转像棱镜后以汇合的双光路沿着水平光路方向进入检测镜组模块,在相机上形成一张待处理的图片;检测镜组模块包含镜组、导轨和电机模组,镜组固定在导轨上,在电机的带动下镜组能够前后移动实现焦距的调整,相比于传统的人工检测或者检测系统,可以简化检测的结构和步骤,节省空间,方便嵌入自动化生产设备,且适用不同尺寸芯片的检测需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 双光路 合流 芯片 检测 装置 | ||
【主权项】:
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