[实用新型]一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置有效
| 申请号： | 202221531738.7 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN217775878U | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王国富;杨小君;贾小波;崔书婉;王小红;莫韬;刘宴升;周瑾;李宏达;谢先明;覃觅觅;陈华金;李俊明;李红立;梁焕勇 | 申请（专利权）人： | 广西科技大学;西安中科微精光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082;B23K26/384;B23K26/70;B23K26/04 |
| 代理公司： | 广西中知华誉知识产权代理有限公司 45140 | 代理人： | 梁家玉 |
| 地址： | 545026 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及飞秒激光加工技术领域。一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，包括用于发射飞秒激光光束的飞秒激光器，还包括激光器控制模块、光束偏转模块、光束平移模块、聚焦镜和协同控制模块。本实用新型通过控制偏转光楔组与平行平板组的同步运动，激光束在加工过程中实现同步动态平移，并且改变偏转角可使光束横移量发生改变，从而实现加工孔锥度精准可控，实现光束扫描位置的精确控制，提高孔径及锥度的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微孔 加工 激光 光束 轨迹 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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