[实用新型]一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置有效
| 申请号： | 202221556056.1 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN217877622U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 单光宇;杨立明 | 申请（专利权）人： | 太原源瀚科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B21/30 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 吕晋华 |
| 地址： | 030008 山西省太原市中北*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型属于蓝宝石晶片质检工具领域，具体涉及一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置；包括支架，支架上设置有蓝宝石晶片吸附台，蓝宝石晶片吸附台的工作面为平面，工作面上分布有若干个真空吸附孔和测量点，真空吸附孔通过气管与真空泵连接，测量点处设置缺口，穿过测量点且与工作面垂直的直线上设置有两个探针，两个探针的触头相对，探针安装在支架上的直线驱动单元上，探针上设置有位移监测元件，探针的触头与蓝宝石晶片吸附台的工作面为同一平面时位移监测元件的记录数值归零；本实用新型提供的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，能够同时对晶片多个测量点进行数据检测，产品检验效率高，能够有效代替人工检测，降低人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 厚度 平面 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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