[实用新型]一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统有效
| 申请号： | 202221607561.4 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN218989377U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 杜鸿基;陈亮 | 申请（专利权）人： | 北京维开科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京天汇航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11987 | 代理人： | 高永 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束蒸发镀膜设备真空系统，统包括第一真空机构和第二真空机构；第一真空机构包括冷凝泵和冷凝泵前级泵，连接工件装载单元的腔室；第二真空机构包括分子泵和分子泵前级泵，连接蒸发单元的腔室；第一真空机构可单独对工件装载单元抽真空，或在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间连通时对其同时抽真空；第二真空机构可单独对沉积物料蒸发单元抽真空，或在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间连通时对其同时抽真空。本真空系统减少了配置中冷凝泵的过程维护的频率，以提高生产效率，并扩大了电子束蒸发技术做工艺产品的使用范围，保证了所镀产品质量的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 镀膜 设备 真空 系统 | ||
【主权项】：
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