[实用新型]液相滴定反向掺杂装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202221608455.8 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN217459665U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 潘明翠;夏新中;孟庆超;王红芳;马红娜;张莉沫;张任远;张雷 | 申请（专利权）人： | 英利能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 魏红恩 |
| 地址： | 071051 河北省保定*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种液相滴定反向掺杂装置及单晶炉，包括掺杂埚、送料管以及加热元件，掺杂埚连接于炉体的内壁上；送料管连通于掺杂埚的底部，且向下延伸至坩埚内，送料管上设有控制阀门；加热元件设置于掺杂埚的周壁上。本实用新型提供的液相滴定反向掺杂装置，利用掺杂埚容纳反向掺杂剂，并通过加热元件对掺杂埚内的反向掺杂剂进行加热，使反向掺杂剂处于熔化状态，并借助送料管向坩埚内输送反向掺杂剂，以避免因分凝而造成的目标掺杂元素浓度的上升，反向掺杂剂的添加量根据装料重量和拉晶速度等参数进行实时换算得到，反向掺杂剂的添加量通过控制阀门进行控制，使制得的单晶棒的电阻率具有均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 滴定 反向 掺杂 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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