[实用新型]阀件及腔室系统有效
| 申请号： | 202221625494.9 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN217762076U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 许健;章学安;吴盟 | 申请（专利权）人： | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/32;F16K27/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张黎明 |
| 地址： | 200135 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体制造设备技术领域，本申请实施例提供了一种阀件及腔室系统。上述阀件及腔室系统中，该阀件至少包括阀座、移动件、弹性件以及驱动装置，阀座内设有调节腔，移动件可移动地设于调节腔内。通过在沿第一方向上将调节腔构造为横截面面积减小的腔体，使得可以通过驱动装置驱动移动件实现对于流体流量的调节，进而调节系统内的压力。通过设置弹性件，使得移动件能够在弹性件的弹性作用力的作用下直接封堵流体入口，可以实现对于流体的隔离，进而避免系统被污染。如此，使得该阀件既可以封堵流体入口，又可以调节流体流量，能够同时实现封堵和调节的功能，从而避免了占用过多空间，提高了系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
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