[实用新型]一种采用陶瓷腔体的等离子源有效
| 申请号： | 202221632713.6 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN218041885U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张德才;洪靖为;黄影 | 申请（专利权）人： | 上海财盈半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 张丽娜 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种采用陶瓷腔体的等离子源，涉及电子技术领域，包括有整流滤波稳压模块、辅助电源、高频逆变模块、第一主控板、功率合成模块、功率输出及检测电路、第二主控板和点火板组成，所述交流电的输出端分别连接整流滤波稳压模块及辅助电源，且整流滤波稳压模块的输出端连接有高频逆变模块。本实用新型真空腔体结构为一整个类圆腔体结构，改变了现有腔体的多段式组装结构，腔体无需拼装使用，提高了腔体的气密性，从而保证了产品的清洁率，腔体采用陶瓷材质，降低了腔体因金属材质发生接触碰撞时腔体的磨损，类圆腔体外型可使腔体减少与外部的接触摩擦，结构上也改变了现有腔体多段式结构的复杂性，结构简单无需拼装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 陶瓷 离子源 | ||
【主权项】：
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