[实用新型]磁电天线的层合结构有效
申请号: | 202221635163.3 | 申请日: | 2022-06-28 |
公开(公告)号: | CN217719955U | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 李娜;李向阳;刘国;徐博楠;张静柯;饶鑫;赵驰;单玉玉 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01Q1/38 | 分类号: | H01Q1/38 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 王奇 |
地址: | 710071 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开的磁电天线的层合结构,包括Si衬底,Si衬底上依次连接有Mo电极层、AIN压电层和FeGa磁致伸缩层,Si衬底与Mo电极层接触面之间开有空气槽。本实用新型采用2‑2层叠型磁电复合材料较其他结构类型具有低漏电、易合成、磁电耦合能力强的优点;本实用新型采用空气隙型FBAR作为谐振结构,机械牢度更好,制备时更易达到精度要求。 | ||
搜索关键词: | 磁电 天线 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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