[实用新型]晶圆搬运机械手有效
| 申请号： | 202221657655.2 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN218255164U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 刘全益;胡敬祥;胡灿辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市梦启半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J18/00;B65G49/07 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 李爽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆搬运机械手，包括升降组件、设于所述升降组件上的旋转组件和机械手组件。所述升降组件包括升降轴和用于驱动所述升降轴实现升降动作的升降驱动装置；所述旋转组件用于驱动所述升降轴旋转。所述机械手组件包括机械手驱动装置、第一手臂、第二手臂和手指组件；所述手指组件包括手指固定座、设于所述手指固定座上的翻转装置、以及与所述翻转装置驱动端固定连接的手指；所述机械手驱动装置驱动第一手臂，第一手臂带动第二手臂伸展使所述手指固定座呈直线运动。本实用新型提供的晶圆搬运机械手的结构简单，控制方式也较为简单，使设备易于维护，其设备的运动平稳性强，能够实现对晶圆的搬运及翻转放置功能。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机械手 | ||
【主权项】：
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