[实用新型]一种方便取放的晶圆盒超声清洗机有效
| 申请号： | 202221688223.8 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN217831046U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 黄诗妤 | 申请（专利权）人： | 厦门东骏佳得环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 福州君越知识产权代理事务所(普通合伙) 35299 | 代理人： | 朱玉珍 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其技术方案是：包括存储盒，存储盒顶部设有盛放机构；盛放机构包括两个连接块，两个连接块均设于存储盒内部，两个连接块之间固定连接有多个支撑台，多个支撑台顶部设有晶圆本体，两个连接块内部均开设有空腔，空腔内部设有限位组件，限位组件包括齿板，齿板设于空腔内部，齿板一侧设有多个连接轴，多个连接轴两端均与空腔侧壁通过轴承连接，多个连接轴外部均固定套设有齿轮，多个齿轮均与齿板相啮合，一种方便取放的晶圆盒超声清洗机有益效果是：方便对晶圆进行固定，方便晶圆的清洗，使晶圆固定更加稳定，并起到保护晶圆的作用，晶圆取放非常的方便快捷，提升晶圆取放速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 晶圆盒 超声 清洗 | ||
【主权项】：
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