[实用新型]模拟上机环境的陶瓷环检漏用夹具有效
| 申请号： | 202221700897.5 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN217930725U | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 顾仁宝;张牧;李伟东;朱文健;余箫伟;魏韶华;杨国江;孙潇男;薛弘宇 | 申请（专利权）人： | 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 孙淑苗 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备测漏技术领域，提供了一种模拟上机环境的陶瓷环检漏用夹具，包括底座和罩壳，所述底座的顶面用于贴合待测产品的底面；罩壳平行设置在底座上侧，用于贴合待测产品的顶面；其中，所述罩壳上设置有空腔，所述罩壳顶部设置有接头，所述接头一端与空腔相通，且所述接头的另一端用于连接氦质谱检漏仪；当所述底座和罩壳与待测产品贴合时，在底座和罩壳之间形成检测间隙，用以露出待测产品的侧面。本申请能够模拟陶瓷环上机情况，配合氦质谱检测仪检测陶瓷环端面是否平整，提高组装后的气体喷淋头的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 模拟 上机 环境 陶瓷 检漏 夹具 | ||
【主权项】：
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