[实用新型]一种磁性过滤弯管机构及镀膜设备有效
| 申请号： | 202221714483.8 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN217809638U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;袁明;彭子阳;周敏;秦兴耀 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜嘉伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市厚*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种磁性过滤弯管机构及镀膜设备，包括S形真空弯管组件、圈设于S形真空弯管组件外壁的电磁线圈和设置于S形真空弯管组件一端的阴极弧靶组件，阴极弧靶组件包括用于固定靶材的固定组件和用于驱使靶材产生弧斑的引弧组件；靶材产生弧斑时会向S形真空弯管组件的另一端发出溅射原子；S形真空弯管组件包括第一直管、第二直管和S形弯管，S形弯管的两端分别连接第一直管和第二直管，第一直管平行于第二直管，且第一直管的内孔和第二直管的内孔在沿平行于第一直管中心线的方向上不重叠。本实用新型的磁性过滤弯管机构，能有效提升工件镀层的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 过滤 弯管 机构 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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