[实用新型]半导体装置有效
申请号: | 202221763038.0 | 申请日: | 2022-07-08 |
公开(公告)号: | CN218241856U | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 邱诗航;吴仲强;王唯诚;陈嘉伟;陈建豪;刘冠廷;徐志安 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体装置,包括栅极结构。栅极结构包括栅极介电层,n型功函数层埋置于栅极介电层中,介电盖层埋置于n型功函数层中,以及p型功函数层埋置于介电盖层中。栅极结构的上表面露出n型功函数层的上表面、介电盖层的上表面、与p型功函数层的上表面。半导体结构亦包括第一金属盖位于n型功函数层上,以及第二金属盖位于该p型功函数层上。第一金属盖与第二金属盖分开且不形成于介电盖层上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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