[实用新型]一种匀胶环结构有效
| 申请号： | 202221778782.8 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN218190751U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 唐燕玲 |
| 地址： | 350109 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种匀胶环结构，包括嵌设在匀胶机的匀胶端的圆形开口处的环体，环体包括第一圆环、第二圆环和第三圆环，第一圆环和第二圆环均匀胶机的匀胶端的圆形开口内，第三圆环位于匀胶机的匀胶端的圆形开口的外部，第三圆环用于稳定固定在匀胶机的匀胶端上，第二圆环用于减小匀胶机的匀胶端的开孔面积，第一圆环能够防止真空吸盘甩开的胶液溅出，通过减小开放空间可降低溶剂挥发速度使整个晶圆片表面上光刻胶的粘度保持相对一致从而达到较均匀稳定的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 匀胶环 结构 | ||
【主权项】：
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