[实用新型]一种红外干涉高精度位移装置有效
| 申请号： | 202221804788.8 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN217818592U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 李琪;张正东;杜彪;李轲;卢小新;徐晓雯;裴修尧;朱云鹏 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院;北京易兴元石化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种红外干涉高精度位移装置，涉及光学用机械装置技术领域，具备直线位移机构；固定在直线位移机构上的移动干涉反射镜；纳米光栅，安装在所述直线位移机构上，所述纳米光栅能够实时测量所述直线位移机构的位移并发出位移信号；数据采集机构，接收自所述纳米光栅发出的位移信号并进行等间隔采样；本实用新型中的干涉反射镜测量轴与直线位移机构运动轴同轴，并采用纳米光栅实时读取当前位置干涉光程差，不需要引入第二套光干涉系统，也不需考虑两套干涉系统光轴同轴问题，通过一次测量即可确定红外干涉零光程差的位置，保证仪器快速响应和测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 干涉 高精度 位移 装置 | ||
【主权项】：
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