[实用新型]一种保压舱及气密性测试装置有效
| 申请号： | 202221850061.3 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN217765424U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李密;汪东;於鹏飞 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 510700 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种保压舱及气密性测试装置，所述保压舱包括舱体、自检密封盖、耳式支座及若干个紧固件；其中，所述舱体的顶部设置有开口，侧壁设置有至少一个通气接口；所述自检密封盖贴合设置于所述开口处；所述耳式支座设置于所述舱体靠近所述开口处的侧壁外周；其中，所述耳式支座上设置有若干个螺孔，所述螺孔的旋入口朝向与所述舱体的开口朝向相同；所述紧固件与所述螺孔连接，以将所述自检密封盖紧固于所述舱体上。通过本实用新型的保压舱及气密性测试装置解决了现有技术中离子源密封性测试耗时长，效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保压舱 气密性 测试 装置 | ||
【主权项】：
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