[实用新型]一种用于半导体长晶机导流桶的对中装置有效
| 申请号： | 202221940958.5 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN217997402U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 吴泓明;钟佑生;陈志刚;王俊仁;万军召;党晓冬 | 申请（专利权）人： | 郑州合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京动力号知识产权代理有限公司 11775 | 代理人： | 张盼 |
| 地址： | 451162 河南省郑州市郑州航空*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体长晶机导流桶的对中装置，包括对中盘、导流桶替换件、以及对中连接件；所述对中连接件为两个，分别位于所述对中盘左、右两侧；所述导流桶替换件连接于所述对中连接件和所述对中盘之间；所述对中盘的中心位置设有刻度盘。通过本实用新型提供的对中装置，能有效确认导流桶在上机投料前是否处于中心状态，对晶体在成长过程中因导流桶偏移造成的晶体晶向断线，有很好的改善；而且对炉内扰流有抑制作用，改善了晶体的电阻率均匀性。因此，本申请所提供的用于半导体长晶机导流桶的对中装置，具有较好的实用价值和技术改进意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 长晶机 导流 装置 | ||
【主权项】：
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