[实用新型]一种药液桶推车有效
| 申请号： | 202221982328.4 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN217728396U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 冯惠敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种药液桶推车，所述药液桶推车包括载台、上料台、下料台、滚轮和推杆，所述载台用于放置所述药液桶，所述滚轮设置在所述载台的下方，所述上料台和所述下料台分别设置在所述载台相邻的两侧边，所述推杆设置在所述载台的一侧边且与所述上料台相对设置。本实用新型提供的药液桶推车的横向作业宽度较小，在过道空间狭小的条件下也能够完成CMP机台的上料作业，不受空间限制，且所述药液桶推车小巧灵活，结构简单，易于操作，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 药液 推车 | ||
【主权项】：
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