[实用新型]喷气模块及气相沉积系统

摘要

本实用新型公开一种喷气模块及气相沉积系统，喷气模块上设置有喷气通道，喷气通道用于连通供气源，喷气通道包括沿进气方向依次连通的导气通道和加压通道，导气通道的内壁相对进气方向倾斜设置，以使导气通道的横截面积沿进气方向逐渐减小，加压通道的横截面积小于导气通道出气口的横截面积，导气通道的进气口覆设有滤网组件。滤网组件能够在气体进入喷气通道之前对气体进行过滤，减小异物杂质进入喷气通道的概率。导气通道的内壁形成一导向斜坡，气体沿该导向斜坡进入通道内，流动性更强，且能避免杂质堆积于导气通道和加压通道的连接位置处，防止喷气通道内出现异物堵塞现象，提高玻璃基板的沉积质量。