[实用新型]一种光阻剂吸管及光阻瓶有效
| 申请号： | 202222134619.4 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN218037678U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 苗俊颜 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 帅进军 |
| 地址： | 510700 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光阻剂吸管及光阻瓶，光阻剂吸管用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，包括：软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。本申请可以最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻剂 吸管 光阻瓶 | ||
【主权项】：
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